▲사진=팸텍
미국 특허 등록을 완료했다는 소식이 알려진 팸텍이 8일 장초반 상한가로 직행했다.
한국거래소에 따르면 이날 오전 10시6분 현재 팸텍은 전 거래일 대비 29.87% 오른 2100원에 거래되고 있다.
팸텍은 이날 자동화된 반도체 웨이퍼 샘플 전처리 시스템에 대한 미국 특허 등록을 완료했다고 밝혔다.
특허 명칭은 '자동화된 반도체 웨이퍼 시편 전처리 시스템'으로, 미국 출원번호는 US18/138,616이다. 해당 기술은 이미 국내에서 동일 명칭으로 특허가 등록된 바 있다.
이번 특허 기술은 웨이퍼 다이싱부터 폴리싱까지의 시편 제작 과정을 자동화한 시스템이다. 특히 결함 좌표 기반 자동 시편 제작 기능을 통해 작업 편차를 줄이고, 공정 효율과 분석 품질을 높일 수 있다. 이를 통해 기존 수작업 방식에서 발생하던 품질 일관성과 처리 속도 문제를 효과적으로 개선한 것이 특징이다.
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