평택 오성 외투지역에 1만8800㎡ 규모 제조시설 착공…2028년 상반기 준공 목표
美 생산 장비 일부 한국 이전…아시아·유럽 부품 공급 및 기술교육 기능 확대
국내 중소기업 35곳과 협력 기반…경기남부 반도체 공급망 강화 기대
▲착공식 모습
경기=에너지경제신문 이성재 기자 세계 반도체 이온주입 장비 시장을 이끄는 미국 엑셀리스 테크놀로지스(Axcelis Technologies)가 경기도 평택에 575억 원을 투자해 대규모 반도체 장비 제조시설을 구축한다.
경기도는 20일 평택 오성 외국인투자지역에서 엑셀리스 아시아 거점센터 착공식이 열렸다고 밝혔다. 이날 행사에는 추미애 경기도지사와 최원용 평택시장, 러셀 로우 엑셀리스 사장 겸 최고경영자(CEO), 박영근 엑셀리스코리아 대표, 산업통상부와 KOTRA 인베스트코리아 관계자, 삼성전자·SK하이닉스 등 주요 고객사 관계자 50여 명이 참석했다.
엑셀리스는 평택 오성 외국인투자지역 내 2만2,326.5㎡ 부지에 약 575억 원(4,100만 달러)을 투입해 연면적 약 1만8,800㎡ 규모의 아시아 거점센터를 건립한다. 오는 2028년 상반기 준공을 목표로 하고 있다.
이번 투자는 기존 평택 아시아 운영센터(AAOC)를 확장·이전하는 증액 투자다. 신규 시설에는 반도체 이온주입 장비 생산을 위한 클린룸을 비롯해 아시아와 유럽 지역에 부품을 공급하는 허브창고, 고객사 기술교육을 위한 트레이닝센터 등이 들어설 예정이다.
엑셀리스는 미국에서 생산해 온 일부 장비와 제품을 한국으로 이전해 아시아 지역 수출 물량에서 한국 생산 비중을 확대할 계획이다. 이를 통해 국내외 반도체 고객사에 대한 장비 공급 능력을 높이는 동시에 기술지원 역량도 강화한다는 방침이다.
이온주입 장비는 반도체 제조 과정에서 웨이퍼에 이온을 주입해 전기적 특성을 정밀하게 조절하는 핵심 장비다. 엑셀리스의 대표 제품인 '퓨리온(Purion)' 시리즈는 이온주입 공정에 활용되며, 특히 전기차와 산업용 전력기기 등에 사용되는 실리콘카바이드(SiC) 전력반도체 분야에서 경쟁력을 확보하고 있다.
경기도는 이번 투자가 경기남부 반도체 산업 생태계의 공급망 안정성을 높이는 계기가 될 것으로 기대하고 있다. 삼성전자와 SK하이닉스를 비롯해 다수의 반도체 소재·부품·장비 기업이 밀집한 지역에 핵심 장비 생산시설이 확대되면서 국내 반도체 제조 기반 강화에도 도움이 될 전망이다.
특히 엑셀리스코리아는 2022년 국내 제조를 시작한 이후 현재까지 국내 중소기업 35개사와 협력관계를 구축한 만큼 신규 시설 조성을 계기로 지역 기업과의 협력도 확대될 것으로 예상된다.
엑셀리스는 한국과 싱가포르, 말레이시아 등을 대상으로 투자입지를 검토한 끝에 경기도 평택을 선택했다. 경기도는 투자 유치를 위해 미국 본사 임원 면담을 비롯해 적합 부지 발굴, 인허가 협의 등 단계별 지원을 진행했으며, 엑셀리스는 지난 9월 평택 오성 외국인투자지역 입주계약을 체결했다.
추미애 경기도지사는 착공식에서 “엑셀리스의 평택 아시아 거점센터 착공은 생산과 물류, 고객 교육까지 기능을 확대하는 중요한 출발"이라며 “경기도를 믿고 투자한 만큼 기업이 안정적으로 성장할 수 있도록 적극 지원하겠다"고 밝혔다.
이어 “경기도는 전력과 용수의 안정적인 확보를 위해 중앙정부 및 관계기관과 긴밀하게 협력하고 있다"며 “세계적인 기업들이 경기도를 믿고 투자할 수 있도록 반도체 산업의 경쟁력을 더욱 강화해 나가겠다"고 강조했다.
러셀 로우 엑셀리스 CEO는 “이번 투자는 단순한 생산능력 확대를 넘어 글로벌 기술력과 한국의 우수한 제조 역량을 연결하는 중요한 투자"라며 “국내 고객사 및 협력사와의 긴밀한 협력을 통해 AI 시대의 반도체 혁신을 뒷받침하고 산업 생태계가 함께 성장할 수 있는 기회를 만들어가겠다"고 말했다.
경기도는 엑셀리스의 신규 제조시설이 본격 가동되면 반도체 핵심 장비의 국내 생산 및 공급 역량이 강화되고, 글로벌 반도체 공급망 변화에 대한 대응력도 높아질 것으로 보고 있다. 또한 국내 중소기업과의 협력 확대를 통해 경기남부 반도체 산업 생태계의 경쟁력 강화에도 기여할 것으로 전망하고 있다.
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